Communication science et technologie
Volume 17, Numéro 1, Pages 59-73
2019-01-01
Elaboration Et Caractérisation Des Couches Minces De Zno Dopées Aluminium
Auteurs : Habieb Halima . Hamdadou Nasr-eddine .
Résumé
Des couches minces de ZnO dopées aluminium (ZnO:Al) ont été élaborées par la technique de pulvérisation chimique réactive en phase liquide (Spray Pyrolysis) sur des substrats en verre préchauffés à la température de 350°C. Des solutions aqueuses de chlorure de zinc de concentration 0.1M et dopées à partir de chlorure d’aluminium hydraté ont été utilisées pour le dépôt. Le pourcentage de l’aluminium dans la solution variait de 1%, 3% et 5%. Après le dépôt, les couches minces ont été traitées thermiquement sous air à la température Ta = 500°C pendant ta = 2h. Ensuite, les couches minces ont été caractérisées et les propriétés structurales et optiques ont été étudiées.Les résultats expérimentaux obtenus par profilométrie ont permis de vérifier que les couches minces de ZnO déposées sont lisses et homogènes. L’analyse structurale par diffraction des rayons X a montré que les couches minces sont polycristallines de structure hexagonale wurtzite et que le dopage de l’aluminium avait un effet important sur la taille moyenne des grains, l’intensité et le déplacement des pics. Les couches minces de ZnO:Al obtenues ont une transmission optique variant de 60% à 70% dans la région visible du spectre, et la largeur de la bande interdite est d’environ 3.8 eV.
Mots clés
OTC / couches minces / spray pyrolysis / ZnO dopé Al / DRX / spectrophotométrie / profilométrie.
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